Design der SIC-Scan-Spiegel-Montage von Ultra-Lightweight-SIC-Spiegel

Rückenstruktur des ultraleichten Scanspiegels

Der Spiegelkörper bestand aus Siliziumkarbid und die Stützstruktur bestand aus Indiumstahl. Die Stützsteifheit und Oberflächengenauigkeit der Scan -Spiegel -Montage werden durch Finite -Elemente -Analyse simuliert und analysiert und durch tatsächliche Tests verifiziert.

Finite -Elemente -Modell der Scan -Spiegel -Baugruppe

Die Ergebnisse zeigen, dass der Wert des maximalen Quadratswerts (RMS) des Scanning -Spiegelformfehlers 9,705 nm beträgt, das tatsächliche Testergebnis 10.125 nm, der Fehler 4% und erfüllt die Anforderung, dass der RMS -Wert weniger als 12,6 Nm in in der Inhalt von 12,6 nm betragen sollte. der Schwerpunkt in alle Richtungen und das Drehmoment des wellengetriebenen.

Testergebnis des Oberflächengenauigkeitstests

Die Eigenfrequenz der Komponente erster Ordnung betrug 302,25 Hz, was den Steifigkeitsanforderungen entsprach. Die Ergebnisse zeigen, dass die vorgeschlagene Methode vernünftig und effektiv ist, was das Problem löst, dass die ultra-leichte Struktur und die strukturelle Steifheit und die optische Oberflächengenauigkeit zu einem Zeitpunkt schwer zu garantieren sind.

Spiegelbaugruppe scannen

Basierend auf dem Prinzip der Kegelschleife und des flexiblen Scharniers wird eine Scan-Spiegel-Montage mit integrierter Rückenstütze vorgeschlagen. Die Hauptparameter der flexiblen Verbindung werden durch numerische Simulation und iterative Berechnung bestimmt, die technische Referenz für die Parameteroptimierung der flexiblen Stützstruktur liefert.