Herstellung von 720 mm Sic Aspherical Spiegel

3.Rough -Polieren: Das raue Polieren verbessert die Oberflächenrauheit und die Oberflächengenauigkeit der größeren Aspheric -Spiegel mit größerer Blende. CNC kleine Schleifköpfe werden immer noch zum rauen Polieren verwendet, und das letztgenannte MRF-Magnetorheologische Finishing ist ebenfalls beteiligt. Nach dem rauen Polieren tritt die Spiegeloberfläche in die Interferenzmetrologiestufe ein und kann in die SI -Beschichtungsstufe gelangen, nachdem der RMS -Wert der Oberflächengenauigkeit besser ist als 1/10 λ.

4.SI-Beschichtung: Das Mirror-Blindmaterial einer großen Apertur-Asphärenspiegel verwendet häufig reaktionsübergreifendes sic-Material, das im Vergleich zu Druck-SIC-Materialien etwas geringer Dichte aufweist. Um das Reflexionsvermögen des sic -asphärischen Spiegels größere Apertur zu verbessern, wird eine Si -Schicht von Si auf der Spiegeloberfläche plattiert, um die Oberflächendichte zu verbessern.

5. FINE POLISING: Nach der Modifikation tritt der sic -Aspherical -Spiegel nach dem feiner Polierstadium in die Bilanz. CNC kleine Schleifköpfe, Spannungs-Rundenpolieren und MRF-Magnetorheologische Veredelung werden häufig im Anfangsstadium des Feinpolierens verwendet, um die relativ lose Schicht auf der modifizierten Oberfläche zu entfernen. Später werden CNC -Köpfe mit kleinen Schleifköpfen zusammen mit Ionenstrahl -Figuren verwendet, um die Oberflächengenauigkeit mit den Entwurfsanforderungen zu verfeinern. Gegenwärtig kann die Oberflächengenauigkeit einer größeren Apertur-Aspherical-Spiegel zu einem RMS-Wert in voller Durchmesser besser als 1/60 λ oder sogar besser verarbeitet werden.

Nach mehreren Jahren technischer Akkumulation hat MG-Optics derzeit die Fähigkeit, den gesamten Prozess des SIC-Aspherical Spiegels mit großer Apertur zu entwickeln. Ein Satz von 720-mm-Durchmesser mit großer Affertur-Sic-Aspherical Spiegel wurde mit einer endgültigen RMS-Wert der Oberflächengenauigkeit besser als 1/60 λ abgeschlossen.